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沉積溫度和氬氣壓力對鈦薄膜物相結(jié)構(gòu)和性能的影響

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采用多弧離子鍍方法在低溫(166K)、室溫(300K)以及不同氬氣壓力(0.2~0.8Pa)條件下沉積鈦薄膜,通過X射線衍射儀、原子力顯微鏡、顯微硬度計和劃痕試驗機(jī)等對薄膜的物相結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行了研…

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