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氣相沉積TiAIN薄膜及其性能分析

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利用非平衡磁控濺射離子鍍?cè)O(shè)備，在軸承鋼和硬質(zhì)合金表面沉積TiAlN薄膜，并對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)和主要性能進(jìn)行了分析。所鍍薄膜厚度可超過(guò)3μm，薄膜的生長(zhǎng)比較好，形成了細(xì)化的柱狀晶粒。經(jīng)斷口掃描分…

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