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基體溫度對(duì)線性離子束技術(shù)制備α-C：H薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響

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采用線性離子束鍍膜技術(shù)在YG6硬質(zhì)合金上沉積氧化類金剛石（α-C：H）薄膜，通過原子力顯微鏡、Raman光譜儀、球磨儀和洛氏壓力儀等研究了基體溫度對(duì)α-C：H薄膜微觀結(jié)構(gòu)、表面形貌、耐磨性以及…

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