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襯底偏壓對摻鉻類石墨碳膜組織、性能及碳鍵結(jié)構(gòu)的影響（上）

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采用非平衡磁控濺射離子鍍技術(shù)在不同襯底偏壓下沉積了摻鉻類石墨非晶碳膜，研究了襯底偏壓對其顯微組織、硬度、內(nèi)應(yīng)力、結(jié)合強度和碳鍵

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