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沉積溫度對類金剛石涂層表面形貌和性能的影響(一)

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采用直流等離子體增強化學氣相沉積(DC-PECVD)技術,在不同溫度下與YG8硬質(zhì)合金基體上沉積了類金剛石(DLC)涂層,探討了沉積溫度對

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