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24對(duì)棒多晶硅還原爐的輻射傳熱數(shù)值模擬

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在還原爐中制備多晶硅需要密閉且高溫的環(huán)境，用傳統(tǒng)檢測(cè)方法獲得爐內(nèi)溫度場(chǎng)分布比較困難。本文基于FLUENT仿真計(jì)算平臺(tái)，對(duì)硅棒生長(zhǎng)至50、100、150mm時(shí)的24對(duì)棒多晶硅還原爐的輻射傳熱進(jìn)行三維…

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