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MAIP鍍TiN薄膜結(jié)構(gòu)形貌的研究

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本文采用多弧離子鍍膜(MAIP)技術(shù)在高速鋼基片表面鍍TiN后,用XRD和SEM對(duì)膜層組織結(jié)構(gòu)、形貌進(jìn)行了分析。 結(jié)果顯示,在高速鋼基片表面的為TiN薄膜,該TiN膜致密,但在薄膜表面有少量白色…

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