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碳含量對WCN納米復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響

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采用多靶反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在不同碳靶功率下制備了WCN納米復(fù)合膜，采用X射線衍射儀、掃描電鏡、納米壓痕儀和高溫摩擦磨損儀等對薄膜結(jié)構(gòu)和性能進行表征，研究了碳含量對WCN復(fù)合膜的影響。

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