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TiSiN納米復(fù)合結(jié)構(gòu)涂層的研究進(jìn)展

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簡(jiǎn)要介紹了TiSiN納米復(fù)合涂層的晶體結(jié)構(gòu)，主要從涂層的性能、制備方法、硅含量以及其它元素?fù)诫s的影響等方面綜述了TiSiN納米復(fù)合涂層的研究進(jìn)展，最后對(duì)其存在的主要問題和今后的發(fā)展方向進(jìn)行…

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