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等離子體氮化與物理氣相沉積復合處理的研究進展

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簡要綜述了等離子體氮化及物理氣相沉積復合處理的新進展，主要介紹了復合處理的工藝進展，復合處理鍍層的組織結構、膜/基結合力、耐磨性和耐腐蝕性，并對復合處理的應用前景進行了展望。

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關鍵字：等離子體 氮化 物理