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活性屏等離子體源滲氮技術(shù)原理及應(yīng)用

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活性屏等離子體源滲氮技術(shù)是一種先進(jìn)的滲氮技術(shù)，消除了常規(guī)直流等離子體滲氮技術(shù)的固有缺陷，且可處理聚合物材料

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