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低溫?zé)崽幚韺raphit-iC類石墨碳膜組織結(jié)構(gòu)及耐磨性的影響

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應(yīng)用拉曼光譜等測試方法分析了不同熱處理溫度對PVD技術(shù)制備的Graphit-iC類石墨碳膜涂層的組織結(jié)構(gòu)，顯微硬度、結(jié)合強度和磨損率的影響規(guī)律。

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