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磁控濺射法ZnO-TiO2復(fù)合薄膜的制備及性能

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采用雙靶共濺射的方法在FJL600EI型超高真空多功能磁控濺射儀上制備不同復(fù)合量的ZnO-TiO2復(fù)合薄膜，對不同工藝參數(shù)制備的ZnO-TiO2復(fù)合薄膜進行形貌結(jié)構(gòu)分析、光催化性測定和親水性檢測。

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