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微晶 納米金剛石復(fù)合涂層的沉積與表征
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采用偏壓增強(qiáng)熱絲CVD（HFCVD）法，通過引入惰性氣體Ar，在經(jīng)過甲醇新預(yù)處理方法處理后的硬質(zhì)合金襯底表面成功沉積了微晶/納米金剛石復(fù)合涂層。
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