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硅基底上噴射電沉積銅/鈷多層膜的結(jié)合力

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在硅基底上利用噴射電沉積法制備銅/鈷多層膜和單層純銅膜，研究了多層膜的形貌、多層膜和單層銅膜與基體的結(jié)合力以及劃痕方向?qū)δせY(jié)合力的影響。結(jié)果表明：對硅基底進行拋光處理可使膜基結(jié)…

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