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微弧氧化制備BaTiO3介電薄膜的電解液體系優(yōu)化

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用正交試驗法對BaTiO3薄膜微弧氧化電解液體進行優(yōu)化，并對最優(yōu)電解液體系下所得薄膜的物相組成，元素分布情況、表面形貌及介電性能進行表征。結(jié)果表明

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